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<html><head><style type="text/css"><!--

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 --></style><title>Fwd: Microfabrication lecture of interest to

Biology s</title></head><body>

<blockquote type="cite" cite><br>

********************************************************<br>

<b>IAP lecture:<br>

Microfabrication 101<br>

Kevin Turner, Lodewyk Steyn<br>

Tue Jan 27, 09am-12:00pm, 2-105<br>

<br>

Sponsored by: MEMS@MIT -- Prof. Martin Schmidt (schmidt@MTL.MIT.EDU),

Mechanical Engineering<br>

<br>

</b>A range of fabrication techniques exist today that allow

microelectromechanical systems (MEMS), with features that range in

size from sub-micron to millimeters, to be constructed. This

short-course will provide an overview of the primary microfabrication

techniques. Among the topics that will be discussed are thin-film

processing, surface and bulk micromachining, wafer bonding, and

polymer fabrication techniques. A brief overview of each of the

processes and some applications of each will be given.<br>

<br>

Process capability that exists within the Microsystems Technology

Laboratories at MIT will be emphasized. All experience levels are

welcome, however the course is designed for people with little to no

prior microfabrication experience.<br>

<br>

Web: http://web.mit.edu/kturner/www/microfab101/<br>

<br>

RSVP: lodewyk@mit.edu or kturner@mit.edu.<br>

<br>

Although signup is not required, please send an e-mail if you'd like

to attend, as we would like to get an estimate of how many handouts to

print.</blockquote>

<div><br></div>

</body>

</html>